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2022년 한국화학공학회지에 발표된 연구에 따르면, 마이크로버블 배열에서 발생하는 음향 진동은 최대 148.5mm/s의 제트 유속을 생성하여 반도체 표면 입자를 92.5% 효율로… <더 보기>

반도체의 집적도가 나노미터 단위의 한계를 넘나들면서, 과거 단순히 이물질을 제거하던 세정 공정은 이제 제품의 성패를 가르는 가장 핵심적인 기술 관문으로… <더 보기>